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アルバックとBosch、MEMS用PZT圧電素子デバイスの共同開発で合意 GoHiCo
【技術/半導体】アルバック、CMOS搭載MEMSデバイスを実現する低温PZTスパッタ技術を開発 2NN 2ちゃんねるニュース速報＋ナビ
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